박막의 두께 분포

예고드린 대로, 박막의 두께 분포 이야기를 해보겠습니다. 사실 이 내용은 '박막 두께의 결정(http://m​arriott.​tistory.​com/134)' 글에 바로 이어져서 나왔어야 하지 않나 싶긴 한데요, 일단 박막을 성장시켜야 두께분포도 알수있는것 아닌가 싶어서 박막 성장 이야기 뒤로 뺐습니다. -_ - 정말 별 쓰잘데 없는 ..

플라즈마와 박막프로세스/박막의 성장과 미세구조 개날연.. 2012.04.30 4 comment

박막의 성장과 미세조직 - Structure Zone Model #2

Structur​e Zone Model 두번째 이야기 입니다. 아니, 이렇게 업데이트가 빨리 되다니 저도 의아하지만, 이것은 본래 1편과 2편이 동시 제작되었기 때문입니다. 철저한 사전제작 시스템으로 작가가 마감에 쫓기지 않을 수 있습니다. -_ - 그리고 Zone Model 이 쭉쭉빵빵 이쁜 모델도 아니고, 비록 실제적으로 나타..

플라즈마와 박막프로세스/박막의 성장과 미세구조 개날연.. 2012.04.13 12 comment

박막의 성장과 미세조직 - Structure Zone Model #1

중요하지 않은것이 하나라도 있겠습니까만, 저보고 만약 뭔가 하나라도 빼라고 한다면 결코 박막의 미세조직을 선택하지는 않습니다. 박막을 어느 용도로 사용하느냐에 따라 어떤 곳에서는 박막을 입힌뒤 특성만 측정해서 값이 나오면 되는 곳도 있습니다만, 그 특성들도 미세조직에 의해 그대로 영향을 받기 때..

플라즈마와 박막프로세스/박막의 성장과 미세구조 개날연.. 2012.04.09 5 comment

박막 두께의 결정

이번 이야기는 박막의 두께 입니다. 그런데, 두께 측정법이 아니라 두께 결정법입니다. 반응성 스퍼터링을 하면서 화합물 박막을 입힌다면 반응성 기체의 양을 조절하여 박막의 조성을 조절하는것이 우선이 되겠지만, 그렇지 않고 Cu나 Ag 등의 단일물질의 타겟, 혹은 이미 조성이 결정되어진 ITO 나 ZnO 등의 타..

플라즈마와 박막프로세스/박막의 성장과 미세구조 개날연.. 2012.03.23 18 comment