개날연블로그

'플라즈마와 박막프로세스/박막 형성법과 스퍼터링'에 해당되는 글  25건

1. 2012.03.04 스퍼터링시 갑자기 방전이 꺼지는 현상   141       ...by 개날연
2. 2012.01.31 스퍼터된 입자의 상태와 성질   28       ...by 개날연
3. 2012.01.20 스퍼터링률(Sputtering Yield)   81       ...by 개날연
4. 2012.01.03 드디어 스퍼터링!! #3. 스퍼터링과 박막증착   129       ...by 개날연
5. 2011.12.24 드디어 스퍼터링!! #2. 플라즈마 발생과 안정화   63       ...by 개날연
6. 2011.12.11 드디어 스퍼터링!! #1. 시편 장착, 스퍼터 작동 및 세팅확인   90       ...by 개날연
7. 2011.12.01 기판(substrate)의 선택과 세척..#2   47       ...by 개날연
8. 2011.11.20 기판(substrate)의 선택과 세척..#1   37       ...by 개날연
9. 2011.11.05 진공도 측정 - 진공 게이지(Vacuum Gauge or Pressure Gauge)   50       ...by 개날연
10. 2011.10.24 가스 공급 - 질량유량계 MFC(Mass Flow Controller)   98       ...by 개날연
11. 2011.10.15 기판바이어스 - 바이어스 스퍼터링(Bias Sputtering)   76       ...by 개날연
12. 2011.09.26 스퍼터 건과 타겟 (Sputter Gun and Target) #2. 다양한 타겟의 응용   47       ...by 개날연
13. 2011.09.21 스퍼터 건과 타겟 (Sputter Gun and Target) #1. 일반적인 건과 타겟의 모습   107       ...by 개날연
14. 2011.09.16 다양한 변형 스퍼터링 장치들   61       ...by 개날연
15. 2011.08.26 반응성 스퍼터링(Reactive Sputtering)   122       ...by 개날연