개날연블로그

'플라즈마와 박막프로세스'에 해당되는 글  96건

1. 2012.01.20 스퍼터링률(Sputtering Yield)   81       ...by 개날연
2. 2012.01.03 드디어 스퍼터링!! #3. 스퍼터링과 박막증착   131       ...by 개날연
3. 2011.12.24 드디어 스퍼터링!! #2. 플라즈마 발생과 안정화   63       ...by 개날연
4. 2011.12.11 드디어 스퍼터링!! #1. 시편 장착, 스퍼터 작동 및 세팅확인   92       ...by 개날연
5. 2011.12.01 기판(substrate)의 선택과 세척..#2   47       ...by 개날연
6. 2011.11.20 기판(substrate)의 선택과 세척..#1   37       ...by 개날연
7. 2011.11.05 진공도 측정 - 진공 게이지(Vacuum Gauge or Pressure Gauge)   50       ...by 개날연
8. 2011.10.24 가스 공급 - 질량유량계 MFC(Mass Flow Controller)   98       ...by 개날연
9. 2011.10.15 기판바이어스 - 바이어스 스퍼터링(Bias Sputtering)   76       ...by 개날연
10. 2011.09.26 스퍼터 건과 타겟 (Sputter Gun and Target) #2. 다양한 타겟의 응용   47       ...by 개날연
11. 2011.09.21 스퍼터 건과 타겟 (Sputter Gun and Target) #1. 일반적인 건과 타겟의 모습   112       ...by 개날연
12. 2011.09.16 다양한 변형 스퍼터링 장치들   61       ...by 개날연
13. 2011.08.26 반응성 스퍼터링(Reactive Sputtering)   122       ...by 개날연
14. 2011.07.26 RF 스퍼터링(RF Sputtering)..#3. 자기바이어스(Self Bias)효과 1   110       ...by 개날연
15. 2011.07.24 RF 스퍼터링(RF Sputtering)..#2. 부도체 타겟의 스퍼터링   107       ...by 개날연