개날연블로그

  오래전에 플라즈마는 PDP에 응용된다는 짧은 글을 올렸었습니다(http://marriott.tistory.com/56). PDP 의미가 Plasma Display Panel 이므로 플라즈마가 없어선 안되겠죠. 당시에는 PDP 구조만 간단히 설명했는데요, 그건 이곳이 PDP 나 LCD 등의 디스플레이를 말하는 곳도 아니었고, 좀더 자세히 들어가려면 방전 원리 등에 대한 기본이 필요했기 때문입니다. 그런데 방전 이야기는 이미 오래전에 끝나있으니 늦었지만 이번 기회에 조금더 자세히 확인해 볼까 합니다. 

   PDP 구조의 종류는 방전의 종류와 매우 닮아있습니다. 사실 그럴수 밖에 없죠. 방전관을 그대로 축소시킨 모양이니까요. 먼저 DC 방전 형태의 PDP 를 살펴봅시다. 

DC 방전 type

언제나 발로 그린 개략적인 그림. 

그러니 그림에 뭐가 없네요..위치가 어떠네요.. 따위의 질문은 받지않음 -_ -

   그냥 딱 보면 전형적인 DC 방전 형태죠. 위 아래로 전극이 달려있고, DC 전원이 공급되어 방전이 나타납니다. 이때 플라즈마에서는 자외선이 방출되고 자외선에 반응하는 형광체에서 자외선의 에너지를 받은뒤 다시 가시광선을 방출합니다. 이 가시광선은 전면유리를 통해서 나오게 되고, 그것을 우리가 보고있는 겁니다. 형광등의 발광원리와 비교해보면 놀랄만큼 똑같습니다. 

   그런데 문제가 발생하죠. DC 방전은 전압이 걸려 방전이 시작되면 전류흐름을 원하는대로 제어하기 위해 별도의 외부 저항이 필요한 구조입니다. 또한 방전공간에 금속 전극이 그대로 노출되어 있기 때문에 방전시 이온과 전자가 지속적으로 전극에 충돌하여 전극 수명이 급격히 짧아집니다. DC가 아닌 AC를 사용한 PDP 에서는 이런 문제들이 나타나지 않습니다.   

AC 대향 방전 type

각각의 부분들이 담당하는 역할이야 책이나 검색만 해도 쉽게 나오니 찾아보도록 하자 - _- 

   DC형 PDP 와 AC형 PDP 의 가장 큰 차이는 역시 파워의 종류이고, AC 에서는 전극이 세라믹 유전체층과 MgO 보호막층으로 덮여있다는 점 입니다. 즉, 바꿔말하면 세라믹 전극을 사용했다고 보면 됩니다. RF 방전 이야기를 했을때, 부도체에서 방전을 일으키려면 DC 가 아닌 AC(or RF)를 사용해야 한다는 말을 했었습니다. 그래서 이제 전극이 MgO 로 덮여있어도 방전이 가능해졌고, 전극을 보호할 수 있게 되어 수명이 길어졌습니다. 그리고 유전체 덕분에 전류제한이 가능해졌죠. 또한 이것은 벽전하(Wall charge)를 형성하여 방전전압 까지 낮추는 효과를 가져옵니다. 그런데, 문제는 형광체 입니다. 형광체는 여전히 플라즈마에 노출이 되어있고, 교류로 인해 전류방향이 바뀌면서 형광체에 지속적인 이온충격이 가해져서 형광체의 수명이 짧아집니다. 형광체의 보호를 위해 형광체 위에 보호막을 입히게 되면 특성이 급격히 저하합니다. 그래서 면방전형이 등장합니다. 

AC 면방전 type

내가 봐도 그림이 졸라 칼라풀해 - _-

   서로 마주보고 있던 전극중 후면기판쪽에 있던 방전전극을 전면쪽으로 옮겨버립니다. 즉, 한쪽 면에 방전용 전극 2개를 모두 설치하고 방전을 일으키죠. 그래서 면방전이라고 부릅니다(좀더 정확히 표현하자면 데이터용 어드레스 전극은 후면에 남아있고, 주 방전용 전극이 전면에 2개 있게 됩니다). 이 타입은 방전이 전면기판쪽에서만 나타나므로 형광체에 이온이 충돌할 일이 없어지고 형광체의 수명이 극대화 됩니다. 그래서 지금 현재의 PDP 들은 대부분 이 면방전 형태를 갖고있습니다. 

   여기까지 3가지 타입의 PDP에 대해 이야기를 했습니다만, 이것은 단지 전극 구조와 배치에 따른 분류일 뿐 입니다. 세밀하게 나누면 전극수나 형광체 위치에 따른 분류도 있게되죠. 어쨌든 위 3가지는 디스플레이 관련 공부하는 분들은 거의 필수적으로 한번쯤 배웠을 만한 내용입니다만, 어느 책을 봐도 나올만한 이 이야기를 여기서 또하는 이유는 단지 PDP에 몇개의 타입이 있냐, 차이점은 뭐냐.. 때문이 아닙니다. DC 방전 - AC 대향방전 - AC 면방전을 거쳐오면서 어떤 문제가 있었고, 그것을 해결하기 위해 많은 사람들이 어떻게 고민하고 어떤 방법들을 선택했는지를 같이 생각해보면 좋을듯 해서 입니다. 현실적으로 이러한 문제는 바로 여러분에게 주어집니다. 제품에 어떤 문제가 있으니 그것을 해결하고, 그리고 어떤 부분을 더 좋게 만들고 싶으니 그것을 개선하라- 라는 문제는 공돌이라면 언제든 겪어야 하는 과정이죠. 그렇게 해서 문제를 하나씩 풀어나가는 생각의 흐름. 그게 중요합니다. 

...by 개날연..

어째 이제는 다른것에 더 신경써야하는, 그런때가 오는것 같군요..

사소하고 작은것이지만 언제나 즐겁게 만족하며 지내고 싶었는데.. 

역시 그냥 두질 않네요.. ㅜㅜ 

글 : 개날라리연구원
그림 : 개날라리연구원
업로드 : 개날라리연구원
발행한곳 : 개날라리연구소

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   뭔가 뜬금없지만, 이번에는 진공증착과 열역학과의 아주 간단한 관계를 이야기 해볼까 합니다. 제가 진공증착 전문은 아니라서 자료를 그닥 많이 본게 아닙니다만, 여기저기 진공증착을 설명해 놓은 기존 자료들에서 열역학적 상태도와 연관을 지어놓은 것은 어째 못본것 같습니다. 물론 굳이 설명할 필요를 못느껴서 그랬을테지만.. 그래도 이곳은 그냥 블로그니까 여기서 한번 끄집어 내는것도 나쁘진 않을거 같습니다. 

   재료와 관계된 열역학을 하다보면 언제든 상태도(Phase Diagram)라는 것을 접하게 됩니다. 상태도는 어떠한 물질이 온도, 압력, 성분 등에 따른 상(phase)의 상태 변화를 그림으로 나타낸 것인데, 물질은 열역학적으로 안정화 되고 에너지를 낮추기 위해 주어진 환경에 알맞는 상의 형태를 취하게 됩니다. 재료나 소재를 다루는 입장에서 상태도는 정말 많은 정보를 포함하고 있기 때문에 대단히 중요합니다. 1성분계에서는 H₂O 의 상태도, 2성분계 이상에서는 Fe-C 의 상태도를 기본으로 알고있으면 어지간한 물질의 상태도를 보고 물질의 상태, 에너지와의 관계 등을 파악할 수 있습니다. 

   그리고 진공증착(evaporation)은 이제는 모두 아시겠지만 챔버내를 진공으로 만든 뒤 원하는 시료(물질)을 가열하여 기체상태로 만들고 그것을 기판에 증착시켜 박막으로 다시 고체화 시키는 방법입니다. 그러면 상당수는 이런 의문을 가졌을 겁니다. 

'금속 고체물질을 가열하면 액체가 되고 그걸 끓여야 기체가 되는데, 그러면 진공챔버 내에서 금속을 녹여서 끓이는 건가?' 

물론 아닙니다. 진공증착에서 고체시료는 바로 기체로 변화하게 됩니다. 원하면 끓일수도 있습니다만... 

H₂O의 대충그린 1성분계 상태도

H₂O는 고상과 액상간 선의 기울기가 음(-)으로 된 대단히 특이한 물질이다.  

같은 특성을 가진것으로 비스무트(Bi)와 안티몬(Sb)이 있다.

   위 그림은 H₂O 의 상태도 입니다. 가장 많이 볼 수 있는 것이므로 이걸 기준으로 이야기 해 보겠습니다. 상태도의 y 축은 압력, x 축은 온도이며, 온도와 압력에 따라 고상(Ice), 액상(Water), 기상(Vapor)의 3 부분으로 나눠져 있습니다. T 인 부분은 삼중점(triple point) 이라고 부르는 3가지 물질상태가 동시에 공존하는 부분입니다. 우리는 현재 1atm 하에 있기 때문에 여기를 기준으로 잡아봅시다. A 라고 표기된 녹색의 화살표를 보면 압력 1atm에서 온도 0℃ 이하에서는 고상인 얼음으로 존재합니다. 그리고 0℃ 이상에서 액상으로 변화하고 100℃가 되면 기상으로 변화하는것을 알 수 있죠. 이게 일반적인 온도 증가에 따른 물질의 상태변화 입니다. 물이 아니라 금속이라도 마찬가지죠. H₂O 와는 온도가 크게 다르겠지만 금속이 녹는점(melting point)이 되면 액상으로 변화할 것이고, 끓는점(boiling point)에서 기상으로 변화하는것은 변함이 없습니다. 액상의 H₂O인 물은 100℃의 온도가 되지 않더라도 상온에서도 '증발'은 일어납니다만, 상태도가 의미하는 것은 특정한 온도와 압력 조건에서 에너지적으로 안정한 물질의 상태는 무엇인지, 그리고 물질들 간의 평형상태는 어디인지를 나타내는것임을 생각하면 되겠습니다. 

   여기서 B 의 화살표를 봅시다. 압력은 3중점 아래로 한참 낮아있습니다. 3중점의 압력이 0.006atm 인데요, torr로 환산하면 4.56torr 정도 됩니다. 그것보다 아래로 압력을 낮추게 되면 뭔가 큰 변화가 있습니다. 1atm 에서는 0℃에서 고상이 액상으로 변화하고 100℃ 까지 또 온도를 올려야만 기상으로 변화했는데, B 라는 압력에서는, 그것도 0℃ 보다 한참 아래의 영하의 온도에서 고상인 얼음이 바로 기상으로 변화가 가능해집니다. 압력만 낮추었을 뿐인데, 온도까지 자동으로 변했습니다. 

Mg의 역시 대충그린 1성분계 상태도

고상과 액상의 경계선의 기울기가 H₂O 와는 반대라는것

   우리가 H₂O 를 증착할건 아니니까, 금속인 마그네슘(Mg)를 예로 바꿔서 살펴볼까요. 사실 금속인 Mg 표면에서 Mg 원자를 기체 상태로 만드는 방법은 여러가지가 있지만, 변수를 온도로 설명하고 있으므로 열증착(thermal evaporation)을 한다고 해봅시다. Mg의 1성분계 상태도에서 A 라고 표기된 화살표를 따라가면 1atm 에서 고상이 액상으로 변하는 녹는점은 650℃ 이고, 기상으로 변하는 끓는점은 1090℃ 입니다. 진공챔버내에 진공을 뽑지않고 대기압에서 증착을 하게되면 Mg 시료를 1090℃ 까지 가열해야 하죠. 물론 금속도 위의 H₂O 에서 예로 든것처럼 증기압이 있으므로 끓는점 이하에서도 증발이 발생하여 증착 자체는 가능합니다. 진공이나 가열 기술이 부족했던 초기에는 액상상태에서 증발시켜 증착하는 방법도 있었습니다만 지금은 어지간하면 사용하고 있지 않습니다. 온도를 급격히 수천℃ 이상으로 올려버리면 중간과정인 액상을 순간적으로 지나며 바로 증발시킬 수도 있습니다. 그러나 온도를 그렇게 올리기란 쉽지 않습니다. 게다가 끓는점 자체가 높은 고융점 물질은 역시 어렵습니다. 도가니를 쓰는 타입이라면 액상이 되어도 도가니 내에 있으므로 별 문제될 것이 없지만, 대용량 증착을 해야하는 업체에서는 공중에 필라멘트를 설치하고 필라멘트 자체에 시료를 걸어서 가열증발시키는 방법이 많이 사용되므로 액상으로 변해선 아주 곤란하죠.  

   여기서 B 의 화살표 부분인 3중점 이하로 압력을 뚝- 떨어트려 봅시다. 그러면 액상을 거친뒤 1090℃ 에서야 기상으로 변했던 Mg 가 이제는 겨우 500℃ 정도만 가열해도 1atm 일때의 액상보다 훨씬 낮은 온도에서, 게다가 액상을 거치지않고 바로 기상으로 변화할 수 있게 됩니다. 이것은 시료를 가열하는데 드는 에너지를 낮출 수 있는 대단히 큰 이점 뿐 아니라 공정시간을 단축시켜 줍니다. 그리고 챔버 자체의 온도가 올라가는걸 막아서 다른 부품에 미치는 영향을 최소화 할 수도 있습니다. 그렇게 500℃의 낮은 온도에서도 기상으로 변한 Mg 원자는 기판까지 날아가 차가운 기판의 표면에 닿으면서 다시 급격하게 온도가 떨어집니다. 그러면 역시 B 의 점선을 역으로 따라가서 액상을 거치지 않고 바로 고상으로 변하며 박막을 형성하죠. 만약 기판 표면에서 액상으로 변한다고 하면 줄줄 흘러내릴테니 그런일이 일어나면 안됩니다. 

   그런데 당연히, 진공증착에서 이러한 이유 때문에 진공을 뽑는건 아닙니다. 챔버내의 '청정'과 '평균자유행로의 확보'가 무엇보다도 우선됩니다. 게다가 시료 가열 온도를 낮추기 위해 무작정 압력을 같이 낮추지도 않습니다. 원하는 박막을 입히려면 증발하는 양이 충분히 있어야 하기 때문이죠. 증발량은 온도에 비례합니다. 온도를 너무 낮추면 비록 증발은 되지만 양이 너무 적어 효율적이지 못합니다. 그래서 1atm 에서의 녹는점보다 훨씬 더 높은 온도를 가해서 순간적으로 많은 양을 증발시켜버리기도 합니다. 그렇게 하나의 이유 때문에 실험 조건이 정해지는것이 아니라, 이것저것 모두 고려해서 적당한 값을 정해야 합니다. 따지고 보면 위에 설명한 부분은 부수적으로 나타나는 부분일수 있습니다. 증착 자체를 위해 진공을 만들수 밖에 없는 여러 이유가 있고, 비록 의도하지 않았어도 진공을 만듬으로 인해 발생하는 현상도 있습니다. 그러나 그 둘 사이에는 서로 이렇게 연결이 되어있습니다. 비록 상태도를 가지고 설명하는데 있어서 닫힌계와 열린계를 왔다갔다 하는 부분이 있지만, 현상을 이해하기 위한 것이므로 적용에는 무리가 없을거라 생각합니다. 

   알아도 그만, 몰라도 그만인거 처럼 보이는 이 글을 쓴 이유는, 지난번에 열역학은 어느 부분이든 모두 연결되는 가장 기초적인 부분이라고 했기 때문입니다. 보기에 열역학과 별 관계가 없는 장비 문제로, 어쩌면 그저 기계적 작동부분으로 여길 수도 있고, 그냥 그런가 보다 생각하며 신경안쓰고 놓치고 쉬운, 별 의미없어 보이는 그런 곳에서도 열역학적 관계를 끄집어낼 수가 있습니다. 그리고 늘 그렇게 생각하다보면 현상들을 더욱 이해하기 쉬워지고 재미있어 지기 때문입니다. 

호..혹시 나만 재미있나... ;ㅁ;

...by 개날연..

찬바람 부니까 이제 좀 살만하군요.. ;ㅁ;

언제나 외쳐대는 맑은 물 흐르는 냇가!! 냇가!!!  

맨날 말만하고 대체 언제쯤 찾아갈려나요.. ㅠㅠ

글 : 개날라리연구원
그림 : 개날라리연구원
업로드 : 개날라리연구원
발행한곳 : 개날라리연구소

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예전에 몇 학기 뿐이었지만 열역학 강의를 맡은적이 있다. 

보통 학부 3학년 과목으로 편성되는 경우가 많은듯 한데, 2학년 과목에 들어있는 경우도....

열역학   Thermodyanmics                                                               Gaskell 개객끼;;

전국 어느 대학이나 공대에 가서 공돌이가 되면 일단 듣게되는 이야기가 있는데,

마치 꼭 전해줘야만 하는 의무처럼, 또는 전통처럼 전해지는 이야기다.  

공포의 4대 역학.

열역학, 기계역학, 재료역학, 유체역학

(여기서 4대라는 기준은 전공마다 조금씩 다른듯 하다. 동-정역학을 넣기도 하고, 양자역학, 뉴턴역학, 전기역학 등을 넣는 경우도 있다.)

문제는, 이런 4대 역학이 뭐냐가 아니라 이런말로 인해 상당수 학생들이 먼저 겁부터 먹는다는것. 일단 어렵다고 긴장하고 겁을 먹고, 심지어는 강의를 듣기전 부터 '어렵다는데 나는 못할거야' '어려운걸 출석이나 하고 대충 학점이나 받자' 라는 생각에 사로잡혀 어떻게 해서든 해보려는 생각을, 시도하려는 노력을 안한다는 것.  

물론 나도 학생들이 어려워한다는걸 알기 때문에 가능한 가능한.. 이곳에서 박막이야기를 한 것처럼 식을 쓰지않고 이해시켜보려 하지만, 유감스럽게도 열역학은 그게 마음대로 안된다. -_ - 아무리 식을 안쓸려고 해도 안 쓸수가 없었다. 왜냐.. 열역학의 내용들을 모두 말로 하려면 너무도 방대하다. 그래서 식 없이 말로 풀어서 강의를 진행하다보면 너무도 광범위하고 오히려 더 복잡해질 수 있기 때문에 가능한 간략화 시켜놓은 식들이 필요해졌다. 또한 열역학의 식들은 다른 과목의 기본이 되어 사용하기 때문에 빼지 못하는 이유도 있다. 

하지만 그렇다해도 역시 열역학은 계산을 하는 학문은 아니다. 이해하는 학문이다. 물론 다른 과목들도 다 그렇겠지만.. 기계, 재료, 유체역학 등의 힘과 물체의 움직임에 대한 것에 비교하면 열역학은 거의 순수하게 에너지에 관해 다루는 학문이라서 그만큼 가장 기본적이고 필수적이다. 적어도 이 분야에서는 알면 좋은것이 아니라, 알아야만 하는 학문이다.  

우헤헤..  책에서 흔히 보던 식이 나와서 반갑져? 데헷;; 

지금은 이렇게 말하지만 열역학은 한때 나에게도 이름만 들어도 근육이 경직되는 과목이었다. -_ - 

학부때 처음 접해본 열역학은 정말 어려웠었다. 무슨 소리인지 도저히 이해할 수 없었다. 

분명 나 또한, 미리 겁을 먹고 있었다.  

그런데 재미있던것은, 그렇게 열역학을 무슨 소리인지도 모르게 들은뒤 몇 년 후, 

어느날 그냥 생각없이 열역학 책을 펴들었을때,

오래전 그당시엔 도저히 이해할 수 없었던 많은 내용들이 아주 자연스럽게 이해가 되었다는 것이다.  

그리고 또 얼마후에 열역학 책을 펴들었을때, 

그곳엔 그냥 당연한 이야기들이 씌여져 있었다. 

그때 알았다. 

그냥 하다보면 되는거였구나..

...by 개날연..

열역학은 기본학문이지만, 열역학 하나만 공부하며 이해하기는 사실 쉽지않다. 

하지만 열역학의 이해가 깊어지면 다른 과목들의 이해가 쉽고 빠르다. 

마찬가지다.

다른 과목들도 열역학에 기초를 둔것들이 많기 때문에, 

각 과목들의 이해가 깊어지면 자연스럽게 열역학의 이해도 같이 깊어진다. 

모든 과목들은 서로 연결되어 있으며, 상호보완 관계다.

조급해 하지말고, 하나씩 천천히.

글 : 개날라리연구원
그림 : 개날라리연구원
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  지난 이야기에서 가상누설(virtual leak) 이야기를 했었는데요, 가상누설로 인한 기체방출이라고 설명은 했지만 여기서 말하는 기체는 산소나 질소 등 뿐 아니라 수분(수증기)인 H₂O 기체를 포함한다는 것을 잊으면 안됩니다. 예전에 진공을 만드는 것은 수분과의 싸움이란 이야길 했던 기억이 납니다. 초고진공을 만들고 오래 유지시켜 가상누설이 멈추었다고 생각하지만 그래도 챔버벽에 마지막까지 남아있는 기체가 있다면 바로 수증기입니다. 수증기는 워낙 흡착력이 강해서 단순히 진공을 뽑는 정도로는 제거하기 어렵기 때문에 이것을 제거하려면 챔버를 보통 몇백℃ 로 가열해서 챔버벽으로부터 분리시켜야 합니다. 사실상 그런뒤에야 시스템이 나타낼 수 있는 최대의 진공도를 보여주게 됩니다.

   그러면 이번에는 누설(leak) 검출에 대해 이야기를 해 봅시다. 누설을 측정하게 되면 누설률(leak rate) 혹은 누설량 이란 표현을 쓰게 되는데요, 챔버에서 누설이 나타났다는 것은 챔버와 외부와의 사이에 압력차가 존재하므로 그로인해 기체의 흐름이 발생하게 되었다는 이야기죠. 이때 단위시간당 흐른 기체의 양을 누설률이라 합니다. 그래서 1초동안 1cc 의 기체가 흘렀다면 1cc/sec 이 되는데요, 그러면 1분간 흐른 양은 60cc/min 이 될겁니다. 그렇다면 단위가 아주 친숙해 집니다. 우리가 질량유량계(MFC)에서 사용하는 단위는 sccm(Standard Cubic Centimeter per minute) 였습니다. 즉, 표준상태에서 cc/min 입니다. 그래서 누설률의 단위는 바로 MFC 의 유량 단위와 같습니다. MFC 로 흘려보내는 기체는 우리가 인위적으로 제어하는 기체의 양이고, 누설은 의도하지 않게 들어오는 기체의 양이 될 뿐입니다. 

   이 cc/sec 단위 외에 자주 쓰는 단위가 하나 더 있는데요, Torr-Liter/sec(or Torr·L/s) 입니다. 1cc/sec 는 0.76 Torr-Liter/sec 로 변환할 수 있습니다. 그런데 엄밀히 말하자면 우리가 쓰는 sccm 는 표준상태(standard)이므로 온도는 0℃, 1atm 을 기준으로 한 부피입니다(그래서 1cc/sec을 1atm-cc/sec 으로 표현하는 경우도 많습니다).  때문에 온도가 달라져서 표준상태에서 벗어나면 1cc/sec = 0.76 Torr-Liter/sec 가 되지않고 약간의 차이를 나타내게 되죠. 하지만 대부분 편의를 위해 그냥 사용하고 있을뿐입니다. 혹시라도 정밀 측정시 이 부분을 알고계시면 도움이 되는 경우가 있을지도 모르겠습니다. 그 외 Pa-Liter/sec 이나 mbar-Liter/sec 의 단위도 쓰이고 있습니다. 단위 보면 아시겠지만 다 그넘이 그넘입니다. 유체역학 하시는 분들에게는 모두 익숙한 단위들일테죠 -_ -  

    1 scc/sec = 60sccm = 0.76 Torr-Liter/sec = 1.013 mbar-Liter/sec 

= 101 Pa-Liter/sec   

실제 LCD나 OLED 공정에서는 '단위시간당 상승률'을 계산해서 사용하는 경우도 많습니다. 

흔히 RoR(Rate of Rise) test 라고 합니다. 

   누설 측정을 하기전에 먼저 하나 기억해야 할 것이 있습니다. 과연 누설이 우리의 박막에 어느정도 영향을 주는가, 아니면 얼마나 누설이 있어야 박막에 영향을 줄 수 있을까 하는 점입니다. 비록 누설이 존재하여도 내가 원하는 진공도에 도달이 가능하고, 내가 만드는 박막에 아무런 영향이 없다면 신경쓰지 않아도 될지 모릅니다. 실제로 박막에 따라서는 어느정도의 미세한 누설은 문제가 되지 않는 경우가 있긴 합니다. 질화물 고용체 박막을 만드는데, 이미 성분의 80% 가 질소인 공기가 약간 유입이 되었다고 한들 불량률이 그리 높아지지는 않겠지요. 하지만 박막이 반도체 등의 경우에는 이야기가 완전 달라집니다. 0.001sccm 의 미량의 기체 유입에도 치명적으로 작용할 위험이 있거든요. 그래서 박막의 종류에 따라, 그리고 공정에 따라 허용누설률이 어느정도인가 모두 기준이 정해져 있습니다. 비록 범위가 있지만 생각외로 허용누설률은 꽤나 작은편 인데요, 보통의 진공장비들은 장비에 따라 차이가 있지만 보통 허용누설률이 약 10^-2~10^-7cc/sec 사이는 나옵니다. 초고진공용 이상 장비나 반도체 패키지(package) 쪽은 더욱 높죠. 평균 10^-5cc/sec 라고 해도, 0.0006 cc/min 이고, 0.036 cc/hr 가 되겠으며, 0.864 cc/day 가 되는군요.. -_ - 이정도면 하루에 1cc 가 채 안되는 정말 미세한 양입니다. 실험시에 유지하는 유량 조건을 본다면 MFC로 제어조차 안되고, 진공게이지로 측정도 못할 정도의 적은 양이지만 그정도는 되어야 허용치란 거죠. 정밀한 검출기 없이는 측정이 안됩니다. 그런데 만약 10^-2 cc/sec 라면 하루에 864cc 의 양이 흘러들어가고, 이정도 양이 되면 하루 24시간 언제나 진공을 유지해야 하는 챔버 입장에서 무시할 수가 없어집니다. 여기서 간단한 예를 하나 들어볼까요. 챔버내로 기체가 유입되는 양(누설)을 Q 라고 하고, 펌프의 배기속도를 S, 압력을 P 라고 하면 Q = S x P 의 관계가 성립합니다. 만약 우리가 7 x 10^-3 torr 의 진공압력을 유지하고 싶은데 펌프는 0.5L/sec 짜리가 연결되어 있다면, 누설은 3.5 x 10^-3 torr-L/sec 이하여만 합니다. 이것이 누설의 허용치죠. 이보다 누설이 크다면 원하는 진공을 유지할 수가 없습니다.  누설에 대해 100% 안심할 수 있는 시스템은 없다고 보기 때문에 연구자는 자신이 만드는 박막과 공정에서의 허용누설률을 반드시 알아 둘 필요가 있습니다. 

   그럼 누설검출하는 방법에 대해 조금만 알아보도록 합시다. 그런데 누설검출법도 종류가 무지 다양합니다. 각각의 사용 장비와 장치별로 구분하게 되면 그 종류가 20여가지에 달하죠. 아시겠지만 저는 장비 종류를 나열하는 설명을 좋아하지 않고, 여기서 이것들을 하나하나 나열하는것은 무슨 상품설명 같아서 그닥 의미없다고 생각합니다. 그래서 실제로 우리가 쉽게 사용할 수 있고, 많이 사용하는 몇가지 방법만 풀어볼까 합니다.   

   먼저 누설을 측정하기 위해 가장 우선으로 필요한 조건은 뭘까요. 챔버에서 누설이 발생한다는 것의 의미를 다시 한번 생각해 봅시다. 이것은 챔버의 내부(혹은 외부)에서 외부(혹은 내부)로 기체의 흐름이 발생한다는 뜻 입니다. 그리고 기체가 어느 한쪽에서 다른쪽으로 흐르기 위해서는 양단에 압력차가 있어야 합니다. 즉, 챔버 내부가 대기압이거나 챔버를 열어놓은 상태로는 누설을 찾지 못한다는 뜻이 되죠. 그런데 '압력차' 라고만 했지 어느쪽이 압력이 높아야 하는지는 언급 안했습니다. 어느쪽이 압력이 높든 상관없거든요. 

   어느 누구나 할 수 있는, 가장 쉽고, 빠르고, 저렴해서 많이 사용하는 방법을 알아봅시다. 흔히 '기포관찰법' 또는 '비누거품법', 영어로 유식하게-_-는 버블테스트(Bubble test)라고도 부르는데요, 자동차 타이어에 실빵꾸-_- 나면 카센터에서 빵꾸-_-난데 찾기위해 스프레이로 무슨 액체를 칙칙 뿌리곤 하죠? 그리고 가스 설치할때 연결부에서 가스가 새는지 확인하기 위해 비누거품을 발라본 기억이 있는 분도 계실지 모르겠습니다. 틈이 있어 가스가 새면 거품이 보글보글 올라오죠. 그것들과 같은 방법입니다. 이 방법은 분무기와 퐁퐁 약간 타서 섞은 물만 있으면 됩니다. 아마 실험실에 이거 없는 곳은 없을겁니다. 단, 이 실험을 하기 위해서는 챔버 내부를 진공으로 만드는 것이 아니라, 기체를 주입하여 대기압보다 훨씬 높은 압력으로 만들어야 합니다. 그래야 외부로 새어나와서 거품을 형성하니까요. 

스프레이를 사용하는 기포관찰법. 

분무기 하나만 있으면 된다 -_ - 틈나면 뿌려보자

  만약 챔버를 진공으로 만든 상태로 이 방법을 쓰게되면? 그래도 누설부위를 찾을 수 있긴 합니다. 비눗물이 챔버내로 쫘악- 빨려들어가면서 순간적으로 진공이 엉망이 되고 챔버내가 바로 오염되는 것을 확인할 수 있으니까요 -_ -  그러니 이렇게 하려면 비눗물이 아닌 알콜을 분무하세요. 이때 알콜등이 챔버 내부로 침투해 들어가는데 시간이 걸리므로 진공게이지는 즉각 반응이 되지 않기 때문에 몇십초 정도는 충분히 기다려 봐야 알 수 있습니다. 또한 여러 부분에 동시에 뿌리면 누설이 어디서 반응했는지 알 수 없게 되니까 한부분씩 해야 합니다. 아세톤을 써도 되긴 하지만 간혹 아세톤에 반응하는 부품들이 있는 경우가 있어서 확인해 볼 필요가 있습니다. 

   그리고 아마 아주 드물거라고 생각하지만, 진공게이지로 가이슬러관을 장착한 챔버라면 진공도가 변하면서 가이슬러 방전의 색이 변하므로 더 쉽게 알아볼 수 있죠. 가이슬러관 뿐 아니라 그냥 어느 장비에나 달려있는 다양한 진공게이지를 관찰해도 상관 없습니다. 방전 도중이라면 플라즈마 상태와 색상이 확- 변하는것도 볼 수 있습니다. 사실 확실한 누설이 있는 곳이라면 테이프를 붙여 막아도 진공게이지에 반응이 나타나므로 위치를 알 수 있습니다. 이러한 스프레이를 이용한 방법이나 진공게이지를 응용한 방법들은 보통 누설이 있나 없나만 알 수 있을뿐 누설량이 얼마인지 정확히 알아내기는 어렵습니다. 하지만, 사용의 편리함 때문에 우선 적용하는 기본 검출용으로 많이들 사용하고 있습니다. 

   누설 측정 장비로 가장 흔히 찾아볼 수 있는것 중에 헬륨검출기(He detector)가 있는데요, 보통 질량분석기가 같이 달려있어서 누설률 측정도 가능합니다. 측정 챔버내에 헬륨(He)을 대기압보다 높게 채운뒤 헬륨을 검출할 수 있는 탐침을 이용해서 헬륨이 빠져나오는 곳을 찾게 되는데, 이때 검출기로 헬륨을 찾아내기 때문에 헬륨을 흔히 '추적기체'라고 부르기도 합니다. 헬륨(He)을 쓰는 이유는 원자의 크기가 작아서 작은 틈새에도 잘 이동할 수 있고, 불활성이라 반응성이 없으며, 분석시 다른 기체들과 구분이 명확하여 쉽게 판단이 가능하다는 점 때문입니다. 그런데 이 방법도 챔버내에 헬륨을 채우는것이 아니라 진공을 만들어 쓰기도 합니다. 챔버 내부에 헬륨 검출 탐침을 달고, 챔버를 진공으로 만든뒤 챔버 외벽에 헬륨을 조금씩 분무하는 방법도 있죠. 그러면 틈새가 존재할 경우 헬륨이 틈새를 통해 챔버 내부로 유입되고, 검출기에 검출되어 찾을 수 있습니다. 같은 헬륨 누설검출법 이지만, 후자의 경우 헬륨 분사법 이라고 부르기도 합니다. 그 외에도 방전 스파크(spark)를 이용하거나 형광체를 발라서 반대편에서 새어나오는 형광체를 관찰하는 방법, 할로겐 기체를 쓰는 방법도 있습니다. 흔히 자주 사용하는 방법들은 아닌듯 하지만, 어떤 방법이든 경우에 따라 적당한것을 선택해서 쓰면 됩니다.   

헬륨 검출기를 이용한 누설측정

헬륨 검출법 중 분사법

   이왕 말 나온 김에 이야기를 하나 더 할까요. 누설 부위를 측정할때 제일 골치아픈것은 바로 챔버의 크랙(crack) 입니다. 밸브 등의 연결부나 이음새는 이미 누설의 위험이 가장 큰 부분이므로 정해진 부위를 측정할 수 있습니다. 그런데 그런 연결부에서 누설을 찾지 못하면 이제는 본체와 배관의 전체 면적을 측정해야 합니다. 본체에서 연결부를 제외하고 누설의 확률이 가장 높은 부분은 아무래도 용접부가 될겁니다만, 용접 불량이든 아니면 다른 부분 어디에서든 존재할 수 있는 크랙을 의심해야 합니다. 챔버의 크랙은 최악의 상황이죠. 잘못하면 챔버를 교체해야 하는 경우까지 발생하니까요. 그런데 챔버란 것이 지속적으로 큰 충격을 받는 부분이 아니기 때문에, 크랙이 있다하면 사실 초기불량인 경우가 많습니다. 

   좌우간 그래서 어쨌든, 어딘가 있는 크랙을 검출해 냈다고 칩시다. 크랙으로 인해 누설이 있다면, 크랙은 챔버를 관통해서 구멍을 냈다는 뜻이 될겁니다. 그런데 진공챔버 외부에 헬륨을 분사해서 검출하든, 헬륨을 챔버내에 고압으로 넣어 새어나오는것을 검출 하든, 보통 챔버 외부쪽에서 크랙을 찾아내게 됩니다. 챔버 내부에는 정확히 어디에 크랙이 있는지 알지 못하죠. 문제는 여기서 발생합니다. 챔버 외부의 크랙을 찾은 뒤 용접을 해서 크랙을 완전히 막아버립니다. 그럼 크랙을 막았으니 문제는 해결되었다고 생각하죠. 하지만, 내부쪽의 크랙이 꼭 외부쪽 크랙의 바로 반대편에 있으라는 법이 없고, 크랙이 하나라는 보장도 없다는걸 생각해야 합니다. 만약 다른 부위의 크랙과 연결되어 있다면, 누설이 해결되지 못하기 때문이죠. 그래서 챔버의 크랙을 찾을 때엔 모든 부위에 대한 정밀한 검사가 필요합니다. 

정말 드물게 나타나지만 가능성 있는 크랙의 문제 

   위 그림을 한번 봅시다. 외부에서 누설측정을 해서 크랙 B 를 찾아냈다고 해 봅시다. 그래서 B 부위를 용접을 해서 막았다고 해도, 사실상 내부에서 A-D, C-D 가 여전히 연결되어 있기 때문에 누설은 해결되지 못합니다. 그래서 내부에서도 막아보자고 A 를 찾아서 막았다고 해도, 여전히 C-D 가 연결되어 있기 때문에 소용이 없게되죠. 이런 경우, 내부의 A, C 또는 외부의 B, D 를 모두 찾아 막는 수 밖에 없습니다. 극단적인 예를 들었지만 실제 나타날 수 있는 크랙 형태이며, 특히 용접불량 부위에서는 이런 크랙이 나타날 가능성이 증가합니다. 

   그런데 이들 누설측정 장비를 사용하는 방법이 갖고있는 근본적인 문제점(?)은 당연히 그 장비가 있어야만 한다는 점 입니다. 누설측정 장비를 제대로 갖추고 있는 곳이 생각보다 많지 않습니다. 지난 글에도 말씀드렸지만 누설이 발생하면 학교 실험실의 경우 학생이 그자리에서 해결할 수 있는 부분이 거의 없다는 이유도 있고, 어찌해서 누설을 한번 잡고나면 한동안은 염려가 없고 자주 사용하는 것도 아니라서 고가의 장비를 구입하려 하지 않는 이유도 있습니다. 크랙 발생같은 경우는 정말 최악의 경우라 일반적으로 고려하지 않는 이유도 있지요. 언젠가는 필요하겠지만 지금 필요하지 않는 장비까지 살 수 있는 돈 많은 연구실이 아니라면 말이죠 -_ - .. 

   장비를 다루는 엔지니어라면 최소한 어디서 누설이 발생하고, 어떤 타입의 누설이며, 어떻게 해결해야 한다는것 정도는  알고있을 필요가 있습니다.  직접 수리가능한 범위를 벗어났다 해도, 어디에서 어떠한 고장이 발생했으니 누구를 불러서 어느 부품쪽을 해결해라- 라고 말할 수 있어야 하죠. 문제를 찾고 해결하는 능력. 이것은 엔지니어라면 갖추고 있어야 할 가장 기본적 조건중 하나이기 때문입니다.

참 오랜만에 글을 올립니다. 

개인적으로 처리할 일들이 있어서 좀 바쁘기도 했고, 몸상태도 그닥 좋지 못하기도 했구요.. 더위에 약해서 여름에는 힘을 못쓰는 시덥잖은 이유도 있습니다. -_ - 우햐튼...이제 대학교가 다들 방학을 했는지 방문자도 좀 줄었고, 때맞춰 날씨도 더워지고 하니.. 더 더워서 뇌가 녹아내리기 전에 또 하나 만들어 봅니다.

   이번 이야기는 그동안 해온 이야기와는 약간 다를수도 있는 부분입니다. 실험 조건이나, 제조된 박막의 특성이나 측정에 관한 것이 아니라, 진공 시스템 자체에 관한 이야기죠. '진공' 이라는 개념으로 접근하고 진행하다 보면 언젠가는 나타나는, 그리고 엔지니어라면 누구나 반드시 한번은 거쳐야 하고 피해갈 수 없는 부분이 있는데, 그것이 바로 진공챔버에서의 기체 누설(leak) 또는 누출 이라고 부르는 현상 입니다. 

   우리는 박막을 만들기 위해 1차펌프를 가동하여 러핑을 하고, 2차펌프를 가동시켜 원하는 진공도까지 시간을 들여 힘들게 진공을 잡습니다. 이때 진공을 뽑는데 걸리는 시간은 각 시스템의 설비와 구조, 펌프의 성능, 챔버의 크기 등에 따라 모두 달라지게 되므로 단순 비교는 어렵습니다. 그러나, 그 장비를 항상 다루는 사람은, 그리고 오랜시간 다뤄본 사람은 다른 시스템을 접하더라도 어떠한 이상이 발생했을 경우 낌새를 알아차리기 마련입니다. 그것은 정말로 다양하고 충분한 경험이 없다면 가질수 없는 어려운 능력이죠. 그렇게 찾아내는 많은 이상 중 하나로 기체 누설이 있습니다.    

   기체의 누설이라 함은 한마디로 진공도가 유지되지 않는다는 뜻 입니다. 일단 기본적으로 실험자는 자신의 스퍼터의 최대 진공도(base pressure, ultimate pressure, 기저압력, 도달압력 등의 용어로 사용됨)를 알고 있어야 합니다. 진공을 뽑고 몇분 뒤에는 얼마의 진공도가 나오는지, 몇시간후에는 최대 얼마까지 진공이 잡히는지를 정확히 파악하고 있어야 하죠. 언젠가 한번 말한 것 같지만 조금만 숙달되어도 펌프 소리만 듣고도 대충 진공이 얼마인지를 알 수 있게 됩니다. 어느 시스템에서 최대 진공도가 10^-8torr 까지 나온다고 가정해 봅시다. 그렇다면, 10^-8torr 를 유지하고 있는 상태에서 밸브를 닫아 펌프와 챔버를 차단시키게 되면, 챔버내부는 언제까지나 10^-8torr 를 유지하고 있어야만 합니다. 하지만 해보시면 알겠지만 실제로 진공이 그대로 유지되는 경우는 거의 없습니다. 어디선가 진공이 새고있기 때문입니다. 또 이런 경우도 생각해 봅시다. 평소에는 10^-8torr 까지 진공을 만드는데 40분 정도가 걸렸습니다. 그런데 어느날 부터 60분이 걸리고 있다면 그것은 분명 진공을 만드는데 무언가가 방해하고 있다는 이야기가 됩니다. 

   그런데 특정 진공도에 도달하는 시간이 더 걸리는 경우는, 펌프에 이상이 있을 경우에도 똑같이 나타납니다. 펌프 성능이 저하되면 시간이 더 걸릴 수 밖에 없죠. 사실상 진공이 잘 안잡힌다고 했을때 우선적으로 확인해야 할 것은 펌프쪽 입니다. 그런 뒤 여러가지 확인 작업을 거쳐 '펌프는 정상이다' 라는 판단이 있어야 합니다. 그뿐 아닙니다. 실험실의 온도 및 습도, 챔버 내부 샘플의 종류, 진공게이지의 정상작동 유무 및 영점확인 등등.. 진공도에 영향을 줄 수 있는 모든 조건들을 확인 해야 합니다. 그런 뒤 아무 이상없다고 판단된 후에 누설로 접근하는 것이 일반적 순서입니다. 챔버외부에 눈에 바로 띄는 크랙이 있다거나 하는 경우가 아니라면 말이죠.. 

   누설이 조금 있더라도 실제적으로 사용 자체에는 큰 영향이 없고, 어쨌거나 원하는 진공도에 도달은 하고 원하는 진공도를 유지만 하면 된다고 생각하기 때문에 그냥 쓰는 경우가 대부분입니다. 앞에서 말씀드린 것 처럼 경험자가 아니라면 이러한 기체 누설의 유무 자체를 알아내기가 어렵기 때문에 내가 쓰는 장비에 누설이 있다고 생각조차 안하는 경우도 많이 있습니다. 또 상당수 학생들이 누설에 대해 잘 알지 못하고, 누설에 대해 고려하지 않으며, 누설을 탐지할 장비가 없는 곳도 많고, 비록 누설을 찾아낸다 해도 챔버 부품교체, 용접 등 쉽게 해결할 수 있는 문제가 아니라서 직접 손대지 못하고 있는것이 현실입니다. 하지만 장비는 항상 최적의 상태로 유지해야 한다는 점을 생각하면 누설은 가능한 모두 찾아서 해결하고 유지 및 보수 하는 문제로 봐야 합니다.  

   여기서 우리가 흔히 누설(leak) 이라고 표현하는 것은 실제적으로 챔버 외부에서 챔버 내부로 기체(공기)가 유입되는 것을 말합니다. 즉, 챔버벽을 관통하는 홀(hole)이나 크랙(crack)이 발생했거나, 용접부의 결함, 배관 연결부(플랜지 flange)의 조임에 틈이 발생했다든가, 개스킷(gasket)이나 오링(O-ring)의 노후, 밸브가 완전히 닫히지 않는다든가 하는 이유로 발생하는 기체유입, 즉 실제로 기체가 외부로부터 들어오는 실제누설(real leak) 입니다. 

챔버벽 크랙(crack)에 의한 누설

아무리 오랜만에 그린 그림이라지만 이건 좀... -_ -

아니면 플랜지나 가스켓 불량 이런 것들... 

  그런데 위의 누설과 약간 다른 종류가 있습니다. 겉보기엔 누설과 같은 증상을 보여 진공이 유지되지 못하거나 진공을 만드는데 시간이 오래걸리지만, 실제적으로 외부에서 기체의 유입은 없는 경우가 있습니다. 이것을 가상누설(virtual leak)이라 불러 실제누설과 구분합니다. 

  가상누설의 대표적인 것은 outgassing 인데요, 이것은 챔버 내부벽과 챔버 안의 장비에 기체분자나 수분이 흡착되어 있다가 진공상태에서 방출되는 현상입니다. 챔버벽 및 내부 장비에는 스퍼터링을 오래 할수록 타겟입자가 증착되거나 산화물 형성 등의 오염이 발생하게 되고, 그렇게 되면 기체흡착이 더 쉽고 많이 나타나게 됩니다. 특히 로드락(load lock) 타입이 아닌 챔버 자체를 열었다 닫았다 하는 배치식 챔버의 경우, 챔버를 열때마다 대기중의 먼지, 수분, 산소 및 질소 등의 대기성분 기체분자들이 챔버 내부로 들어와 골고루 흡착되기 마련이죠. 이렇게 흡착된 수분과 기체들이 고진공으로 갈수록 방출이 진행되어 최고 진공으로의 도달을 방해합니다. 사실상 이 현상은 모든 진공시스템에서 나타난다고 볼 수 있습니다. 

챔버벽 or 부품 표면으로 부터의 outgassing 현상

다공성의 산화물 등이 존재할때 특히 정도가 심해진다.

  가상누설의 개념은 실제로 외부에서 기체가 유입되는 것이 아니라 이미 내부 어느곳인가에 포획되어 있던 기체가 진공이 되면서 압력차에 의해 방출된다는 것입니다. 그렇게 보면 가상누설을 야기시키는 기체가 존재할 수 있는 부분은 생각외로 많습니다. 더블오링(double O-ring)이라고도 부르는 이중 밀폐부, 장비를 조립할때 사용된 볼트, 너트 등의 틈새 등은 가상누설의 주된 원인으로 작용하기도 합니다. 

더블 오링(double O-ring) 사이에 존재하던 기체가 방출되거나..

장비 체결부의 볼트 및 너트 틈새에 존재하던 기체의 방출 

  가상누설도 진공을 만드는 시간을 지연시키고 최대진공도 도달을 방해하므로 실제누설과 겉보기 증상이 같습니다. 그렇다면 누설이 있는것은 확실한것 같은데 이것이 실제누설인지 가상누설인지 구분할 수 있는 방법이 필요합니다. 그래서 다음과 같은 간단한 실험을 해봅시다. 

1. 1차펌프 밸브 open 부터(진공 뽑기 시작) 2차 펌프 가동하여 고진공밸브를 열때까지(예를 들면 10^-3torr) 시간을 측정한다.

2. 고진공밸브 열었을때(10^-3torr) 부터 최대진공도 도달까지(예를 들면 10^-8torr) 시간을 측정한다.

3. 고진공 밸브를 닫고 Ar을 유입시켜 진공을 일부러 2번의 시작 수준까지(10^-3torr) 만든다.

4. 고진공 밸브를 열어 다시 최대 진공도까지 도달시간을 측정한다.   

그리고 이걸 그래프로 그리면 아래와 같은 그래프를 얻을 수 있습니다. 

간단한 누설측정 그래프(진공도 수치는 예를 든 것임)

실제누설인 경우 a-b와 c-d 의 시간이 같다

가상누설이면 그래프가 이렇게... 

c-d 구간이 매우 빠르게 나타남

  만약 챔버 어딘가에 틈이 있어서 외부에서 기체가 지속적으로 유입되고 있는 실제누설이라면, a-b 구간과 c-d 구간의 기울기와 속도가 같아야 합니다. 언제나 일정량의 기체가 들어오고 있기 때문이죠. 그러나 만약 c-d 구간의 기울기가 훨씬 더 급격해서 시간이 빠르다면, 이것은 가상누설이 존재 할 확률이 높습니다. 왜냐하면 챔버벽에 흡착되어있던 기체들이 어느정도 제거된 상태이므로 그다음 진공을 다시 뽑을때엔 이들에 의한 영향이 어느정도 제거되어 더 쉽게 최고 진공도에 도달하게 됩니다. 이렇게 가상누설은 고진공상태로 오래 유지만 해도 어느정도 제거가 가능합니다. 가상누설 문제를 더욱 해결하려면 챔버벽을 클리닝하고 열선으로 챔버를 가열하여 내부 흡착기체 및 수분 등을 증발시켜 제거하는 방법도 있는데요, 이정도만 해도 눈에띄게 진공도가 달라지는것을 확인할 수 있습니다. 하지만 그렇게 해도 최고 진공도에 도달하지 못하거나, 시간이 예상보다 오래걸리고 있다면 실제누설을 고려해야 합니다. 두가지의 누설 형태가 동시에 나타나고 있는 경우는 사실상 명확히 구분하기란 쉽지 않습니다. 

가상누설과 실제누설의 압력 증가 형태

이렇게 시간(ΔT)에 따른 압력변화(ΔP)를 이용해 누설률(Q)를 구할 수 있음. 

dP/dt = Q/V 의 관계에 있다. 여기서 V는 용기 체적.

  실제누설과 가상누설의 구분은 고진공을 만드는데 걸리는 시간의 비교 뿐 아니라, 고진공을 만든 후 밸브를 닫고 진공이 빠지는 시간을 측정해도 구분이 가능합니다. 실제누설은 챔버내로 들어오는 공기의 양이 많고 일정하므로 어느정도 일정한 기울기를 가지고 압력이 올라가는데 반하여, 가상누설은 방출되는 기체양이 점차 줄어들기 때문에 기울기가 조금씩 감소하는 형태를 나타내곤 합니다. 역시 이것도 두세번 반복하면서 비교해보면 좀 더 명확히 차이를 알 수 있습니다. 물론 이 현상들은 고진공일수록 증상이 뚜렷하며, 저진공인 경우는 외부와 압력차이가 적어 실제누설 및 가상누설의 정도가 감소하기 때문에 구분하기 어려울 수도 있습니다.  

...by 개날연..

이거 .. 어째 하다보니 길어져서 2편으로 나눕니다. ;;

2편에서는 누출 현상에서 고려해야 할 부분과 

검출 방법에 대해서.. -_ -;;

올 여름엔 비키니를 볼 수 있을까여.. ~~~  ;ㅁ; 

글 : 개날라리연구원
그림 : 개날라리연구원
업로드 : 개날라리연구원
발행한곳 : 개날라리연구소

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